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Définition de la dilution du précurseur (. 66. II.1.6. Dépôts de TiN ...... pour des couches de carbonitrure de titane élaborées par CVD. Ils ont étudié l'influence de ...
http://www.techno-science.net/?onglet=glossaire&definition=4662
?Définition et propriétés ... Les revêtements CVD de dernière génération incluent le carbonitrure de titane (MT-Ti(C,N) et MT-TiCN, aussi appelés revêtements ...
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